1、原水箱→增壓泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→陽離子交換床→陰離子交換床→混床增壓泵→混合離子交換器→純水箱
2、原水箱→增壓泵→多介質過濾器→活性碳過濾器→精密過濾器→高壓泵→單級反滲透裝置→中間水箱→混床增壓泵→混床超純水系統→超純水箱
3、原水箱→增壓泵→多介質過濾器→活性碳過濾器→軟化過濾器→精密過濾器→高壓泵→單級反滲透裝置→中間水箱→混床增壓泵→混床超純水系統→超純水箱
4、原水箱→增壓泵→機械過濾器→活性碳過濾器→軟化過濾器→PH調試裝置→保安過濾器→一級高壓泵→一級反滲透裝置→二級高壓泵→二級反滲透裝置→中間水箱→EDI增壓泵→EDI電去離子水裝置→高純水箱
5、原水箱→增壓泵→機械過濾器→活性碳過濾器→阻垢系統→PH調試裝置→保安過濾器→一級高壓泵→一級反滲透裝置→二級高壓泵→二級反滲透裝置→中間水箱→EDI增壓泵→EDI電去離子水裝置→高純水箱
高純水裝置 電阻率10兆歐以上,15兆歐以下,16兆歐以上,17兆歐,5兆歐
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