天然水中通常含有五種雜質:1.電解質,包括帶電粒子,常見的陽離子有H+、Na+、K+、NH4+、、Mg2+、Ca2+、Fe3+、Cu2+、 Mn2+、Al3+等；陰離子有F-、Cl-、NO3-、HCO3-、SO42-、PO43-、H2PO4-、HSiO3-等。
有機物質,如:有機 酸、農藥、烴類、醇類和酯類等。顆粒物、微生物、溶解氣體。（包括：N2、O2、Cl2、H2S、CO、CO2、CH4等）。
所謂水的純化，就是 要去掉這些雜質。雜質去的越徹底，水質也就越純凈。
1.去離子水就是將水通過陽離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強酸性陽離子交換樹脂），則水中的陽離子被樹脂所吸收，樹脂上的陽離子H+被置換到水中，并和 水中的陽離子組成相應的無機酸；含此種無機酸的水再通過陰離子交換樹脂（常用的為苯乙烯型強堿性陰離子）OH-被置換到水中，并和水中的H+結合成水，此 即去離子水。
去離子水在現代工業中有著非常廣泛的用途，使用去離子水，是我國很多行業提高產品質量的，趕超世界先進水平的重要手段之一。 由于去離子水中的離子數可以被人為的控制，從而，使它的電阻率、溶解度、腐蝕性、病毒細菌等物理、化學及病理等指標均得到良好的控制。在工業生產及實驗室的實驗中，如果涉及到使用水的工藝都被使用了去離子水，那么，許多參數會更接近設計或理想數據，產品質量將變得易于控制。
2.而超純水呢,則可以認為是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大于18MΩ*cm（沒有明顯界線），則稱為超純水。關鍵是看你用水的純度及各項征性指標，如電導率或電阻率，PH值，鈉，重金屬，二氧化硅，溶解有機物，微粒子，以及微生物指標等。4. 高純水，是指化學純度極高的水，其主要應用在生物、化學化工、冶金、宇航、電力等領域，但其對水質純度要求相當高，所以一般應用最普遍的還是電子工業。例如電力系統所用的純水，要求各雜質含量低達到“微克/升”級。
在純水的制作中，水質標準所規定的各項指標應該根據電子(微電子)元器件(或材料)的生產工 藝而定(如普遍認為造成電路性能破壞的顆粒物質的尺寸為其線寬的1/5-1/10)，但由于微電子技術的復雜性和影響產品質量的因素繁多，至今尚無一份由 工藝試驗得到的適用于某種電路生產的完整的水質標準。
不過近年來電子級水標準也在不斷地修訂，而且高純水分析領域的許多突破和發展，新的儀器和新分析方法 的不斷應用都為制水工藝的發展創造了條件。高純水的國家標準為：GB1146.1-89至GB1146.11-89[168]，目前我國高純水的標準將電 子級水分為五個級別：Ⅰ級、Ⅱ級、Ⅲ級、Ⅳ級和Ⅴ級，該標準是參照ASTM電子級標準而制定的。
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